杭州中欣晶圓8&12寸化(huà)學品系統項目
Slurry系統、TMAH CDM系統、PC-DH2 CDM系統,設計(jì)、制(zhì)造、安裝及調試。
安徽富樂(yuè)德長(cháng)江半導體(tǐ)化(huà)學品系統項目
8”及12”化(huà)學品CDS系統,設計(jì)、制(zhì)造、安裝、調試及一(yī)次配、二次配。
浙江麗(lì)水(shuǐ)中欣晶圓12寸化(huà)學品系統項目
12”化(huà)學品CDS系統,設計(jì)、制(zhì)造、安裝、調試及一(yī)次配、二次配